2011-8-17 0 Comments
真空系统是用来获得真空的排气装置。它主要由各种真空泵、真空计、真空阀门以及连接管道组成。如同电子电路中的电源、电流表、开关及导线一样。由于各种实际应用对真空系统的要求不同,因此真空系统的类别也较多,根据不同的情况可对其分类。
(1)按真空系统的工作状态可分为动态真空系统和静态真空系统。凡是真空室或被抽器件某处有放气或漏气,系统中有气流存在,因而系统内各处压强不同,这种系统称为动态真空系统。凡是真空室或被抽器件内没有放气和漏气,系统内没有气体流动,因而系统内各处压强相等,且长时间不变化,这种系统称为静态真空系统。
(2)按真空系统工作的压强分,有粗真空系统;低真空系统;高真空系统;超高真空系统极高真空系统。
单用机械泵就可获得低真空,如用于真空干燥、真空食品保鲜、真空的力学应用、电灯炮的排气台。一般的电子管、显像管、气体激光器等电子器件的排气台均需要高真空系统。真空镀膜机、真空退火炉也需要高真空系统,通常采用油扩散泵,机械泵或涡轮分子泵均可达到高真空。
超高真空、极高真空系统常采用溅射离子泵,低温泵、涡轮分子泵,如制做真空光电子器件多碱光阴极的真空系统,第三代 光电阴极的激活用真空系统,以及宇航空间模拟站用真空系统均属此类。
(3)按真空系统的清洁程度分为!有油真空系统,指真空室有油蒸气污染,或虽真空无油污染,但真空泵工作时产生的油蒸气会污染真空系统。这类真空系统有旋片油封机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵;"无油真空系统,是指真空室无油污染,所用真空系统亦无油蒸气产生,这类泵有分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵。
(4)按组成真空系统的结构材料分为:玻璃真空系统,即主要连接管道、真空活塞
均为玻璃材料;金属真空系统,即主要连接道、真空阀门均由金属制成。
(1)按真空系统的工作状态可分为动态真空系统和静态真空系统。凡是真空室或被抽器件某处有放气或漏气,系统中有气流存在,因而系统内各处压强不同,这种系统称为动态真空系统。凡是真空室或被抽器件内没有放气和漏气,系统内没有气体流动,因而系统内各处压强相等,且长时间不变化,这种系统称为静态真空系统。
(2)按真空系统工作的压强分,有粗真空系统;低真空系统;高真空系统;超高真空系统极高真空系统。
单用机械泵就可获得低真空,如用于真空干燥、真空食品保鲜、真空的力学应用、电灯炮的排气台。一般的电子管、显像管、气体激光器等电子器件的排气台均需要高真空系统。真空镀膜机、真空退火炉也需要高真空系统,通常采用油扩散泵,机械泵或涡轮分子泵均可达到高真空。
超高真空、极高真空系统常采用溅射离子泵,低温泵、涡轮分子泵,如制做真空光电子器件多碱光阴极的真空系统,第三代 光电阴极的激活用真空系统,以及宇航空间模拟站用真空系统均属此类。
(3)按真空系统的清洁程度分为!有油真空系统,指真空室有油蒸气污染,或虽真空无油污染,但真空泵工作时产生的油蒸气会污染真空系统。这类真空系统有旋片油封机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵;"无油真空系统,是指真空室无油污染,所用真空系统亦无油蒸气产生,这类泵有分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵。
(4)按组成真空系统的结构材料分为:玻璃真空系统,即主要连接管道、真空活塞
均为玻璃材料;金属真空系统,即主要连接道、真空阀门均由金属制成。
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